南阳宇宙光学百科-高精度光学玻璃棱镜透镜-石英玻璃片有哪些应用领域呢
石英玻璃片由于其优异的物理、化学和光学性能,在多个领域有着广泛的应用。以下是一些主要的应用领域:
1. 半导体行业
单晶硅制造:在单晶硅的生长过程中,石英玻璃片常作为坩埚等容器使用,用于承载硅熔体。
晶圆制造:在晶圆的加工制造过程中,石英玻璃片被制成各种部件和仪器,如清洗、氧化、光刻、刻蚀、扩散等环节中所需的石英片、石英环、石英舟、石英法兰等。这些部件的杂质含量、几何尺寸等直接影响集成电路器件的良品率和生产效率。
2. 航空航天领域
耐高温材料:石英玻璃纤维及其复合材料因耐高温、耐烧蚀、高透波与电绝缘性能优良,被广泛应用于火箭、飞船等航空航天器的观察窗、保温外壳等部件的制作。
透波增强材料:在航空领域,石英玻璃材料还用于制作透波增强材料,如机载雷达罩、导弹雷达罩、干扰电磁发射窗口等。
3. 光学领域
光学仪器:石英玻璃片因其高透光率和优异的光学性能,被用作透紫外和透红外材料,制造摄谱仪、红外照相机、棱镜、透镜等光学仪器。
光掩膜基板:在平板显示技术中,合成石英锭是光掩膜基板的主基材,而光掩膜基板是制造集成电路的关键部件之一。
4. 光通讯领域
光纤预制棒:石英玻璃片在光纤预制棒的生产过程中起着重要作用,如作为预制棒生产支撑材料以及光纤拉丝用支撑材料等。光纤预制棒中95%以上的组分为高纯度的石英制品。
5. 电光源领域
特种电光源:为避免灯管冷热不均炸裂,卤素灯、金卤灯、放电灯、杀菌灯和红外加热等特种电光源常使用石英玻璃管。这是因为石英玻璃具有热膨胀系数小的优点,能够承受较大的温度变化而不易破裂。
6. 光伏行业
光伏设备:在光伏行业中,石英玻璃片作为高纯反应室、气体/液体入口或输送管道等部件广泛应用于太阳能扩散炉和PECVD管式炉等设备中。此外,随着光伏电池工艺的发展,如TOPCon工艺的推广,电池制程用石英炉管、石英器件的需求也显著增加。
7. 其他工业领域
化工领域:石英玻璃片因其优异的耐蚀性和化学稳定性,在化工行业常用于制作反应釜、管道、储罐等设备。
医药领域:在制药设备中,石英玻璃片因其耐高温、易清洗等特点被广泛应用。
综上所述,石英玻璃片在半导体、航空航天、光学、光通讯、电光源、光伏以及化工、医药等多个领域都有着重要的应用。随着科技的进步和产业的发展,石英玻璃片的应用领域还将不断拓宽和深化。